利用高效過濾器和風機，可以組合成各種局部凈化設備。
(1)凈化工作臺 凈化工作臺是一種具有代表性的局部凈化設備，它可在局部造成100級或更高級別的潔凈環境。從氣流型式上凈化工作臺，通常有垂直單向流型和水平單向流441;從氣流再循環角度上，可分為直流式工作臺和再循環式工作臺;從工作臺面大小，可分為單席工作臺和雙席工作臺。各種不同型式的工作臺都必須配合不同用途選擇使用。
凈化工作臺主要由預過濾器，高效過濾器、風機機組、靜壓箱、外殼、臺面和配套的電器元器件組成。典型的結構如圖44-17所示。
凈化工作臺的性能見表44-16所示。為了檢驗其實際性能，都必須遵循統一的性能測試標準。
(2)層流罩 是一種帶HEPA的送風呈單向流的送風機組。它也是一種常用的局部凈化設備，可造成1SO5級或更高級別的局部潔凈環境，同時是組成潔凈隧道的基本單元設備。
層流罩主要由外殼、預過濾器、高效過濾器、風機機組、靜壓箱和配套的電器元件組成。從結構型式上，層流罩有前回風型、后回風型、有氣幕型和無氣幕型;從安裝方式上有吊裝式和支撐式。
