這種濕度計的加速度高、體積小、測量范圍大、反應迅速。其基本原理是:對一定幾何結構的電容器來說，其電容量與二極間介質的介電系數?成正比關系。不同物質?值互不相等，一般介質?值在2~5之間，但水的?=81，比一般物質大很多。

電容式濕度計就是利用這個特點制成的，當空氣中含有的水分變化時，能引起電容器電容量的變化，這個變化與空氣中含水量有線性關系。但電容介質損耗與介質濕度也有關，濕度愈高，則損耗愈大，損耗大對測量精度是不利的。

如損耗很大，甚至無法測出電容量的變化。因此，電容式濕度計常用于低濕區的濕度測量，而低濕區的濕度測量卻是前面幾種濕度發信器的薄弱環節。