電渦流傳感器的等效阻抗Z與被測(cè)材料的電阻率 ρ、磁導(dǎo)率 μ、激磁頻率f及線圈與被測(cè)件間的距離x有關(guān)。當(dāng) ρ、μ、f確定后Z只與x有關(guān)，通過(guò)適當(dāng)?shù)臏y(cè)量電路，可得到輸出電壓與位移的關(guān)系，如圖9-28，在曲線中部呈線性關(guān)系，一般其線性范圍為扁平線圈外徑的1/3到1/5處，線性誤差約為3%~4%。

  根據(jù)上屬關(guān)系，電渦流傳感器可以測(cè)量位移。如汽輪機(jī)主軸的軸向竄動(dòng)(圖9-29a），金屬材料的熱膨脹系數(shù)，鋼水液位等。量程范圍可以從0~1mm到0~30mm，一般分辨率為滿量程的0.1%。

振幅測(cè)量

  為了用非接觸式方法測(cè)量各種振動(dòng)的振幅，如機(jī)床主軸振動(dòng)形狀的測(cè)量，可以使用多個(gè)渦流傳感器安置在被測(cè)軸附近（9-29b），再用多通道測(cè)量?jī)x或記錄儀，便可測(cè)出在機(jī)床主軸振動(dòng)時(shí)，瞬時(shí)振動(dòng)分布形狀。

轉(zhuǎn)速測(cè)量

 在一個(gè)旋轉(zhuǎn)金屬體上安裝一只由N個(gè)齒的齒輪，旁邊安裝電渦流傳感器（9-29c）。當(dāng)旋轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，齒輪的齒與傳感器的距離變小，電感量變小；距離變大，電感量變大。經(jīng)電路處理后將周期的輸出信號(hào)，該信號(hào)頻率f可以用頻率計(jì)測(cè)出，然后換算呈轉(zhuǎn)速n=f/N×60

式中n為被測(cè)轉(zhuǎn)速（r/min）

渦流膜厚測(cè)量

  利用渦流檢測(cè)法，能夠檢測(cè)金屬表面的氧化膜、漆膜或電鍍膜等膜的厚度。但是，金屬材料的性質(zhì)不同，其膜厚檢測(cè)也有很大不同。下面介紹金屬表面氧化膜厚度的測(cè)量，它是各種測(cè)量方法中較為有效的一種。

 氧化層膜厚測(cè)定方法如圖9-30所示。假定某金屬表面由氧化膜，則電感傳感器與金屬表面的距離為x；金屬表面渦流對(duì)傳感器線圈中磁場(chǎng)的反作用，改變了傳感器的電感量，此時(shí)的電感量為（L₀-△L）；當(dāng)金屬表面無(wú)氧化層時(shí)，傳感器與其表面距離為x₀，對(duì)應(yīng)的電感量為L(zhǎng)₀，那么，該金屬表面的氧化層厚度應(yīng)為（x₀-x），該厚度就可以通過(guò)電感量的變化而測(cè)得。

  金屬氧化層的渦流測(cè)量可由圖9-31所示的測(cè)量電路實(shí)現(xiàn)。在膜厚測(cè)量電路中，正弦振蕩器IC₁、IC₂產(chǎn)生頻率1k~100kHz的正弦波，加在變壓器B₁初級(jí)上。次級(jí)輸出的正弦信號(hào)加到橋式電路的輸入端，由該橋路在非平衡狀態(tài)下獲取金屬材料表面的渦流變化，渦流變化量由檢測(cè)方法器IC₃進(jìn)行適當(dāng)放大，再經(jīng)交流放大器IC₄和IC₅放大數(shù)十倍后，經(jīng)轉(zhuǎn)換電路將渦流變化量轉(zhuǎn)換為膜厚，最后由指示儀表顯示。圖中W₁、W₂、W₃分別為靈敏度調(diào)整、零點(diǎn)調(diào)整和電平調(diào)節(jié)電位器。

  除此之外，還可用電阻率或磁導(dǎo)率的變化對(duì)材料進(jìn)行無(wú)損傷等測(cè)定。