機組在壓力檢漏合格后，為了進一步驗證在真空狀態下的可靠程度，則需要進行真空檢漏。真空檢漏是考核機組氣密性的重要手段，也是氣密性檢查的最終手段。
具體檢查方法如下:
①將機組通往大氣的閥門全部關閉;
②用真空泵將機組抽至50Pa的絕對壓力;
③記錄當時的大氣壓力B1溫度t1，以及U形管上的水銀柱高度差P1;
④保持24h后，再記錄當時的大氣壓B2、溫度t2，以及U形管上的水銀柱高度差P2;
⑤U形管水銀差壓計只能讀出大氣壓與機組內絕對壓力的差值，即機組內的真空度。
絕對壓力為大氣壓和溫度的變化而引起機組內氣體絕對壓力的變化。若機組內的絕對壓力升高(或真空度下降)不超過5Pa(制冷量小于或等于1250kW的機組允許不超過10Pa)，則機組在真空狀態下的氣密性是合格的。
機組由于泄漏而引起絕對壓力的增大量為
真空檢漏采用U形管水銀差壓計時，在24h內很難確定機組氣密性是否合格。這是因為差壓計上的每一個小格的值為136Pa，儀器本身的誤差加上人為觀察的誤差遠遠超過5 Pa。因此，若以U形管水銀差壓計作為測量儀器時，應放置較長時間(一周或更長時間)。通常，真空檢漏時除采用U形管絕對壓力計外，更多地采用旋轉式真空計(麥氏真空計)。這種真空計可以直接測出機組內的絕對壓力，可讀至0. 133Pa的絕對壓力，測量方便準確。
同樣，絕對壓力值也與測量時的溫度有關，也應扣除因溫度變化而產生的影響。機組內絕對壓力的升高值(機組泄漏值)為
⑥若機組真空檢驗不合格，仍需將機組內充以氮氣，重新用壓力檢漏法進行檢漏。消除泄漏后，再重復上述的真空檢漏步驟，直至達到真空檢漏合格為止。
⑦如果機組內有水分，則當機組內壓力抽到當時水溫對應的飽和蒸汽壓力時，水就會蒸發，從而很難將機組抽真空至絕對壓力133Pa以下。此時，應將機組的絕對壓力抽至高于當時水溫對應的飽和蒸汽壓力，以避免水分蒸發。通常抽至9.33kPa(對應水的蒸發溫度為44.5℃)，同樣保持24h，并記錄試驗前后大氣壓力、氣溫及U形管上水銀的高度差。考慮大氣壓及溫度的影響后，若機組內絕對壓力上升不超過5 pa，則同樣認為設備在真空狀態下的氣密性是合格的。但此時不宜使用旋轉式麥氏真空計測量機組內的絕對壓力，因為麥氏真空計僅適用于測量理想氣體。空氣可近似認為是理想氣體，而機組內含有水分，則是空氣與水蒸氣的混合氣體，與理想氣體相差甚遠，因此，測量誤差較大。此時，可選用薄膜式或其他形式的真空計。
機組內含水分后的真空檢漏是一項較難把握的工作，因此，一般應在機組內不含水分的情況下進行真空檢漏。機組內若含有水分后，除了上述檢漏方法外，可采用一種簡易的氣泡數，放置24h后，再啟動真空泵，記下逸出油面的氣泡數。若二者相差不多，則視為機組的氣密性是合格的。
