電容式濕度傳感器主要有陶次電容式和高分子電容式兩種。

陶瓷電容式濕度傳感器結構:陶瓷電容式濕度傳感器的結構由多孔氧化鋁感濕膜.鋁基片和金電極等構成,其結構如圖3-19所示。

工作原理:陶瓷電容式濕度傳感器基于單元氣孔的平行板電容器效應,根據所用器件電容隨環境濕度的變化而變化的原理制成。在低濕時首先進行化學吸附,隨著濕度的增加開始形成低物理吸附層,在高濕度的情況下會形成多層物理吸附層,電容量也會相應增大。陶瓷電容式濕度傳感器的特性:Al₂O₃薄膜組成的陶瓷電容式濕度傳感器在氣孔中有一定水汽吸附時,隨著環境濕度的變化,膜電阻和膜電容都將改變。其特性曲線如圖3-20所示,在低濕度時,曲線線性良好,到高濕度時線性變差,若濕度進一步提高,特性曲線變得平緩。在實際的應用中,線性不良和在高濕環境中長期工作容易老化是多孔Al₂O₃濕度傳感器的一大缺點。