濕度傳感器是基于其功能材料能發生與濕度有關的物理效應或化學反應的基礎上制造的。它有將濕度物理量轉換成電信號的功能，這些功能可以通過與濕度有關的電阻或電容的變化，長度或體積的脹縮以及結型器件或MOS器件的某些電參數的變化，例如PN結擊穿電壓、電流放大系數、反向漏電流、MOS器件的溝道電阻等的變化而得以實現。濕度傳感器的特性參數主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數、響應時間、濕滯回差`感濕特征量一一相對濕度特性曲線等。

濕度傳感器都有其自身的感濕特征量，例如電阻、電容、擊穿電壓、溝道電阻等。濕度敏感器件的感濕特征隨環境相對濕度(或絕對濕度)變化的曲線，稱為器件的感濕特征量一一環境濕度特征曲線(簡稱感濕特性曲線)。圖3-2是二氧化鈦-五氧化二釩濕度敏感器件的感濕特性曲線。

濕度敏感器件的感濕特性曲線表示器件的感濕特征基隨環境相對濕度的變化規律。從感濕特性曲線可以確定器件的最佳使用范圍及其靈敏度;通過器件的感濕特性曲線還可以探討改進器件性能的途徑和工作機理。性能良好的濕度敏感器件的感濕特性曲線，應當在整個相對濕度范圍內變化連續，其斜率一致(即線性)而且大小適中。斜率過小，曲線平坦，靈敏度降低;斜率過大則曲線太陡，將造成測量上的困難。