濕度傳感器的特性參數(shù)主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應(yīng)時(shí)間、濕滯回差、感濕特征量一一相對(duì)濕度特性曲線等。濕度敏感器件的感濕特征量是隨環(huán)境相對(duì)濕度而變化的。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生變化時(shí),濕度敏感器件將隨之而產(chǎn)生吸濕或脫濕以及動(dòng)態(tài)平衡過程。完成這一過程需要一定的時(shí)間，不同的濕度敏感器件完成這一過程所需要的時(shí)間是不同的。濕度敏感器件的響應(yīng)時(shí)間就是表示器件完成這一過程所需時(shí)間的特性參數(shù)。感濕特征量的變化滯后于環(huán)境濕度的變化，這一現(xiàn)象稱為滯后現(xiàn)象。

濕度敏感器件的響應(yīng)時(shí)間 ,就其含義而言 ,應(yīng)當(dāng)是在規(guī)定的環(huán)境溫度下,環(huán)境由起始相對(duì)濕度瞬時(shí)達(dá)到終止相對(duì)濕度時(shí),器件的感濕特征量由起始值改變到終止相對(duì)濕度時(shí)的對(duì)應(yīng)值所需要的時(shí)間。顯然,一個(gè)性能 良好的器件,其響應(yīng)時(shí)間 越短越好。

實(shí)踐證明,當(dāng)環(huán)境相對(duì)濕度改變A打時(shí),如果濕度敏感器件感濕特征量相應(yīng)的改變量為 △K, 那么在響應(yīng)過程中某個(gè)時(shí)刻:感濕特征量的改變量 △K_t為

在實(shí)際生產(chǎn)中,通常對(duì)響應(yīng)時(shí)間 τ作如下規(guī)定:如果器件由某起始相對(duì)濕度環(huán)境瞬時(shí)置人某終止相對(duì)濕度環(huán)境,其感濕特征量的改變量應(yīng)為△K,當(dāng)感濕特征量由起始值變化到改變量為0. 632△K時(shí)所經(jīng)過的時(shí)間 ,即定義為器件的響應(yīng)時(shí)間。器件的響應(yīng)時(shí)間是與環(huán)境的起始和終止相對(duì)濕度密切相關(guān)的,否則響應(yīng)時(shí)間就失去其應(yīng)有的意義。

圖3-4給出了K₂O- Fe₂O₃濕度敏感器件的響應(yīng)特性曲線。由圖3 -4可知,器件在吸濕和脫濕兩種情況下的響應(yīng)時(shí)間是不一樣的。因此,在標(biāo)明器件的響應(yīng)時(shí)間時(shí), 除指明起始和終止相對(duì)濕度外,還應(yīng)區(qū)別吸濕和脫濕情況,最好分別予以注明。在二者差別甚微時(shí),方可統(tǒng)一表示。