在使用制冷壓縮機抽空的過程中，假如壓縮機自身帶滑油泵時，則隨著系統內真空度的提高會使滑油泵工作條件惡化，引起機器運動部件的損壞，所以當油壓(指壓差)小于26. 7kPa時，應立即停車。為了檢查是否已將系統內的水分、空氣等抽盡，可在壓縮機排出閥的多用孔道上接一臨時管子。待系統中的大量空氣排出后，將管子的另一端放入一只盛有冷凍油的容器內。若系統內還有水分、空氣等，油里就會出現氣泡，一直要抽到在較大的一段時間里不出現氣泡，說明系統內的水分、空氣等已抽盡.如果在較長一段時間內仍有氣泡連續不斷地產生，則可先關閉壓縮機的吸入閥，檢查一下壓縮機本身有否泄漏，若壓縮機不漏，則盛油容器里就不出現氣泡，同時也說明是系統里有毛病，若壓縮機有漏，氣泡就會連續產生，這往往是軸封不密合所造成的，如果氣泡的出現是開始大，逐漸變小，氣泡出現的間隔時間也越來越長，這說明軸封從不密合到逐漸密合。若發現管端(插入面不深的情況下)有將滑油反復吸進吐出的現象，當將管端插到油內深處就看不出此現象，一般是閥片不密合所致，經重負荷使用后會好轉的。

對全封閉式壓縮機所組成的制冷系統，是不能用本身壓縮機來抽真空的，故需要另接真空泵來完成這項工作。由較大型的壓縮機或半封閉壓縮機所組成的制冷系統，一般也不宜用自身壓縮機抽空。

因大缸徑壓縮機用自身抽空有危險(因為排氣量較小)，而半封閉壓縮機用自身抽空時，電動機冷動條件差。用真空泵抽真空的示意圖如5-14所示。