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壓阻式傳感器的類型與優點

   2019-12-22 十二6804
核心提示:壓阻式傳感器有兩種類型:一類是利用半導體材料的體電阻支撐粘貼式的應變片,做成半導體應變式傳感器;另一種是在半導體材料的基片上用集成電路工藝支撐擴散電阻,作為測量傳感元件


  壓阻式傳感器有兩種類型:一類是利用半導體材料的體電阻支撐粘貼式的應變片,做成半導體應變式傳感器;另一種是在半導體材料的基片上用集成電路工藝支撐擴散電阻,作為測量傳感元件,亦稱擴散型壓阻式傳感器,或固態壓阻式傳感器,固態壓阻式傳感器主要用于測量壓力和加速度等物理量。


  壓阻式傳感器的優點是:①靈敏度非常高,有時傳感器的輸出不需要放大可直接用于測量;②分辨度高,例如測量壓力時可測出10~20Pa的微壓;③測量元件的有效面積可做的很小,故頻率響應高;④可測量低頻加速度與直線加速度,壓阻式傳感器的最大缺點是溫度誤差較大,故需要溫度補償或在恒溫條件下使用。

 
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