用來獲得真空的器械稱為真空泵。根據泵的工作原理，真空泵可分為兩大類。

（1）氣體傳輸泵這類泵的工作原理是將氣體由一方傳輸到另…方，然后排出泵外。例如，旋片式真空泵、水環泵、蒸氣噴射泵、羅茨泵、油擴散泵，渦輪分子泵等。

（2）氣體捕集泵這類泵的工作原理是利用各種吸氣作用將氣體吸附，暫時或永久地儲存于泵內。如鈦升華泵、濺射離子泵，用硫酸、五氧化二磷吸附水蒸氣的吸氣劑泵，用冷阱在低溫下捕集水蒸氣的低溫泵等。