電容式薄膜真空計

結構及工作原理根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變面引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容薄膜規管和測量線路兩部分組成。根據測量電容的方法不同，測量線路可分為有偏位法和零位法兩種，其中，零位法具有較高的測量精度。

零位法電容式薄膜真空計的結構如圖8-14所示。它由電容式薄膜規管、測量電橋電路、直流補償電源、低頻振蕩器、低頻放大器、相敏檢波器和指示儀表等組成。

電容式薄膜規管中間裝著一張金屬彈性膜片，其一側有一固定電極，當膜片兩側的壓差為琴時，固定電極與膜片形成一個靜態

電容C。，它與電容C，串聯后作為測量電橋的一臂，電容C2、C；和C4、Cs的串聯電容作為其他三條橋臂。

金屬彈性膜片將薄膜規管隔離成兩個室，其內的氣體壓力分別為被測壓力p，和參考壓力p，（pb<10-3Pa）。在兩側主體壓力相同時調節測量電橋電路使其平衡，即指示儀表歸零；當被測壓力p：>b時，壓力差1一p使膜片發生應變，引起電容C。改變，破壞了測量電橋電路的平衡，指示儀表亦有相應的指示，調節直流補償電源電壓U對電容C，充電，使其靜電力與壓差相等，電橋電路重新達到平衡，指示儀表又重新指零。根據補償電壓大小，就能得出被測壓1；并且當p1>p。時，測量結果就是絕對壓力，即

（8-5）

式中，p1為被測壓力（Pa）；U為補償電壓；K為規管常數。