電容式薄膜真空計性能穩定，其測量范圍一般為10~l0-Pa，適合于有氧氣、水蒸氣及油蒸氣氣氛的壓力測量。

電容式薄膜真空計的主要特點如下。

①測量結果是氣體和蒸氣的全壓力，并與氣體種類無關。

②結構牢固，使用方便。

③可作為粗低真空的副標準和傳遞標準。

④可制成高溫恒溫式真空計，這對于防止因真空測頭不能徹底滅菌所造成的凍干箱的污染非常重要。