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安全保護和故障報警裝置--?短時間停電保護

   2022-04-18 sj7
核心提示:安全保護和故障報警裝置--?短時間停電保護

短時間停電保護

①停電時冷阱與真空泵之間的隔離閥自動關閉。

②升華中若停電,箱、阱閥開啟,以利用冷阱中的冷量捕捉升華的水蒸氣。

③停電時,機器的程序狀態、運行數據、設定參數均自動存儲。

④復電時,程序按原中斷處重新運行,同時所有電機按設定順序依次啟動,以免多臺電機同時啟動對電網造成電流沖擊。

 
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