真空檢漏法又稱負壓檢漏法或抽空法。其檢漏靈敏度較高。用這種方法。檢漏時，對被檢漏容器抽真空，并用探索氣體在被檢容器外部可疑位置來回噴吹，如確定遇到漏孔，探索氣體會被吸人經過漏孔進入容器，由接在被檢容器上的檢漏儀器的探測器將探索氣體檢出，可以確定出漏孔位置和漏率大小。不同檢漏儀器使用的探索氣體不同，但是原則上作為檢漏用的探索氣體應滿足空氣中含量低、不腐蝕、無毒性等要求。